Микро/нанотвердомер представляет собой измерительный прибор для контроля механических параметров тонких пленок и покрытий (толщина 0,01…100 мкм), а также нано- и микроструктурированных поверхностей. Устройство этой серии использует измерительные методики царапания и наноиндентирования, благодаря которым можно контролировать твердость в диапазоне значений 103...6·104 Н/мм2, а упругость в интервале от 10 до 1000 ГПа. Приборы этого типа оснащаются моторизированными предметными столиками, владеют цифровыми микроскопами высокого разрешения, которые имеют встроенные фотокамеры. Это существенно упрощает контроль параметров тонких образцов, пленок и поверхностей в нанометричном диапазоне.
Производителем предоставляется на нанотвердомер (микротвердомер) и входящие в комплект зонды гарантия. Ее продолжительность составляет для измерительной установки 1 год, а для сменных зондов 3 месяца.
| Наименование | Значения |
| Диапазон прикладываемой нормальной (вертикальной) нагрузки | До 1000 мН (~100 г) |
| Разрешение по нагрузке | 10 мкН |
| Диапазон измерения твердости | 1000 ... 60 000 Н/мм2 (~100 ... 6000 HV |
| Диапазон измерения модуля упругости | 10 ... 1000 ГПа |
| Диапазон перемещения индентора | 100 мкм |
| Разрешение перемещения индентора | 1 нм |
| Система перемещения | |
| Размер исследуемых образцов | 50х50х30 мм |
| Диапазон перемещения предметного столика | 25х25 мм |
| Шаг перемещения предметного столика | 100 нм |
| Габариты, мм | 260х300х180< |
| Вес, кг | 9,5 |